溫度傳感器是一種常用的測量儀器，被廣泛的應用在多個行業(yè)當中。溫度傳感器的工作環(huán)境也是很廣泛的，可以在中、低、高溫等多個環(huán)境下工作。今天小編就來為大家介紹一下溫度傳感器在高溫600度的環(huán)境下如何工作，下面來具體看一下吧�！　�

　　田中教授指出，耐高溫傳感器實用化的關鍵在于傳感器自身的技術和從傳感器讀取信號的技術。這是因為，即使能夠在高溫（500～600℃）環(huán)境測量溫度和壓力，如果讀取數(shù)據(jù)的電路不能工作，也無法使用數(shù)據(jù)。一般來說，用SiC半導體制造耐高溫傳感器時，從數(shù)據(jù)讀取電路一方看到的傳感器電極電阻會升高。如果把讀取電路放在非高溫環(huán)境下，并利用很長的導線，那么導線的電阻便會影響傳感器信號，導致難以準確測量�！　�

　　田中教授介紹了此次學會上發(fā)表的兩個方案。一個是利用機械式變頻器的方案，就是利用基于MEMS（微電子機械系統(tǒng)）加工技術制成的微小機械式開關來構成變頻器電路。由于這樣的電路不依賴于半導體特性，因此在500℃下也能工作。這個方案是美國凱斯西儲大學（CaseWesternReserveUniversity）發(fā)表的。雖然這樣的電路也可以通過SiC晶體管來實現(xiàn)，但目前很難使用比硅晶圓（集成電路的基板）缺陷多的SiC晶圓低成本制造晶體管�！　�

　　另一個方案是使用SiC二極管整流橋，把傳感器的電阻調低。雖然很難利用SiC晶圓低成本制造晶體管，但面向功率半導體的SiC二極管已經實現(xiàn)量產，在很多用途中都投入了實用。該方案提出，把基于二極管的電阻轉換電路設在傳感器附近，信號便可通過同軸電纜延長。該方案是日本東北大學發(fā)表的。另外，基于二極管整流橋的電阻轉換技術在40年前就已發(fā)表�！�

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