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- 開(kāi)發(fā)新型傳感器的途徑
- 來(lái)源:賽斯維傳感器網(wǎng) 發(fā)表于 2013/11/25
隨著科學(xué)技術(shù)的交叉發(fā)展,互相滲透,對(duì)傳感器的質(zhì)量,品種和數(shù)量提出了新的要求,因此,必須從新原理,新材料和新加工技術(shù)等三個(gè)方面尋找途徑才能研究出新型傳感器。
首先是采用新原理:目前很多科學(xué)家正在不斷的探索新的原理,并把物理效應(yīng)化學(xué)反應(yīng)用到傳感器中,研制出新一代傳感器。例如約瑟夫遜效應(yīng)傳感器,用它可以檢測(cè)極微的磁場(chǎng),使超高精度和超高靈敏度的測(cè)量已經(jīng)成為可能。近年來(lái)發(fā)展起來(lái)的光纖傳感器和表面彈性波傳感器,取得了長(zhǎng)足的進(jìn)展,對(duì)提高測(cè)量系統(tǒng)的可靠性極為有效。
其次是采用新材料:由于材料科學(xué)的巨大進(jìn)步,新的功能材料的開(kāi)發(fā)導(dǎo)致新型傳感器的出現(xiàn),半導(dǎo)體材料研究的進(jìn)步,促進(jìn)了半導(dǎo)體傳感器的迅速發(fā)展,壓電半導(dǎo)體材料為壓電傳感器集成化提供了方便。高分子他點(diǎn)薄膜的研制成功,將使機(jī)器人的觸覺(jué)系統(tǒng)更接近人的觸覺(jué)材料,尤其是記憶合金,當(dāng)它復(fù)原時(shí)會(huì)產(chǎn)生相當(dāng)大的力,因而它有可能作為敏感原件和執(zhí)行原件的集合件,在自動(dòng)化的系統(tǒng)中顯示獨(dú)特的作用。在功能材料方面,把酶或活體組織的一部分作為敏感原件也是很有前途,因?yàn)樗鼘?duì)特定的化學(xué)物質(zhì)具有高度的選擇性,不僅可測(cè)量各種分子量和結(jié)構(gòu)的化學(xué)材料,而且有可能測(cè)量食品的新度。隨著固定化技術(shù)的發(fā)展和生物工程的進(jìn)步,適用于敏感元件的材料會(huì)大量增加,新型傳感器將不斷出現(xiàn)。
最后是采用新的加工技術(shù):采用新的加工技術(shù)可以執(zhí)照出新型傳感器,如采用光刻,擴(kuò)散以及各向異性腐蝕等方法,可以制造出微型化集成化傳感器,現(xiàn)在已經(jīng)制造出能裝在注射針上的壓力傳感器和成分傳感器。采用半導(dǎo)體集成電流制造技術(shù)在同一個(gè)芯片上,就成為了多功能傳感器。如果在將具體算術(shù)邏輯運(yùn)算功能的未處理結(jié)合為一體,就是智能傳感器。
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