當(dāng)半導(dǎo)體的表面跟待測的氣體相接觸時，就會形成電導(dǎo)率等一些物理性質(zhì)的變化，它就是利用這個原理來檢測氣體的。當(dāng)氣體和半導(dǎo)體之間作用的時候，形成的變化就只限于深入到半導(dǎo)體的內(nèi)部或者是半導(dǎo)體的表面，按照這兩種變化，可以把它分為體控制型和表面控制型。 

　　半導(dǎo)體氣敏元件的有關(guān)特性參數(shù)分為恢復(fù)時間、初期穩(wěn)定時間、響應(yīng)時間、分辨率、靈敏度和電阻值。

　　初期穩(wěn)定時間：如果氣敏元件在很長時間內(nèi)沒有使用過，那么它的表層就會吸附空氣中的一些氣體和水分，這樣會改變它的表層的狀態(tài)。多了負(fù)電荷之后，如果溫度升高了，那么氣敏元件就會發(fā)生解吸的現(xiàn)象。所以，如果氣敏元件很長一段時間沒有工作后，要恢復(fù)到平時正常的工作狀態(tài)，就需要稍等一段時間，這就叫做氣敏元件的初期穩(wěn)定時間。

　　恢復(fù)時間：處在工作的有關(guān)溫度下，待測的氣體在此元件上面的解吸的速度，一般是從被測的氣體和氣敏元件相互脫離的時候開始計時，當(dāng)它的阻值達(dá)到平時在清潔的空氣之中的阻值的百分之六十三的時候停止計時，這個時間段就是氣敏元件的恢復(fù)時間。

　　響應(yīng)時間：在工作的時候，氣敏元件對待測氣體的反應(yīng)的速度。

　　分辨率：氣敏元件對干擾氣體的抑制的能力和待測氣體的選擇。

　　靈敏度：氣敏元件對待測氣體的敏感程度。它代表待測氣體的濃度和氣體敏感元件的電參量之間的關(guān)系。

　　電阻值：在常溫的狀態(tài)下，把電阻型的氣敏元件在清潔的空氣中的電阻值叫做氣敏元件的固有電阻值。 

　　對半導(dǎo)體氣體傳感器要求的基本的性能有：實時性，就是說它的動態(tài)性能要好；重復(fù)性，傳感器可以重復(fù)使用很多次，而且穩(wěn)定性好和使用壽命較長；選擇性，可以根據(jù)所需要的要求測量出氣體的濃度，而且不會受到其他氣體和其他物質(zhì)的干擾。

　　半導(dǎo)體氣體傳感器的應(yīng)用是非常廣泛的，它的成本很低、使用的壽命長、恢復(fù)的時間和響應(yīng)的時間比較快以及靈敏度很高，因此對它的使用是越來越普遍的。

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