傾角傳感器在目前的汽車電子、工業(yè)控制等領(lǐng)域是很常見的，常常會被用到。實際工作中則主要用在工程機械、港口機械、頂管盾構(gòu)機、橋梁建設(shè)、大壩監(jiān)測、土木工程等領(lǐng)域。并且應(yīng)用于各軍工單位，科研機構(gòu)，航空航天，導(dǎo)航系統(tǒng)，鐵路監(jiān)測，核工業(yè)機械等企事業(yè)單位當中。

　　 別看這小小傾角傳感器這么簡單，它不僅僅是用一二塊芯片和幾塊PCB板再加一些外接電路焊接在一起就完事，更重要的是傳感器封裝完好了以后，對傾角傳感器進行一系列的補償，比如要想在不同溫度段使傾角傳感器都能達到同一精度，就必須對傾角傳感器進行溫度補償，要想在全角度范圍內(nèi)精度能達到一致，必須進行角度補償，線性補償?shù)鹊炔拍苁沟脑搩A角傳感器在各種復(fù)雜環(huán)境中使用，這就要涉及到要有很多高端的生產(chǎn)設(shè)備，高低箱，轉(zhuǎn)臺，振動臺等等，這是很多人無法做到的。

　　傾角傳感器是由高質(zhì)量硅電容傳感器元件和接口電子組成并裝配在特定的應(yīng)用包裝中的。硅電容傾角傳感器的元件是由單晶硅和玻璃做成的。這種設(shè)計能確保相對于時間和溫度的可靠性,史無前例的準確性和優(yōu)秀的穩(wěn)定性。通常一個元件能承受多余40000g的加速度(1g=地球引力的加速度)。

　　 在單晶硅中沒有塑料變形和磁滯現(xiàn)象，它要么被制作成功或者完全被破壞。懸臂式的雙電容傳感元件設(shè)有超負荷保護，它能夠測量兩個方向的加速度。

　　傾角傳感器的核心部分是微機械加速度傳感器元件的對稱電容塊，它由三片相互被薄玻璃膜隔離的硅片組成。中間硅片是懸臂多射線式結(jié)構(gòu)，在它上面的大的質(zhì)量塊，電容和彈性系數(shù)能獨立的得到最佳結(jié)果。這正是在低g值量程內(nèi)取得很好測量結(jié)果的原因。作用在硅片上的重力和加速的力量使單晶硅電射束振蕩彎曲，這種偏差能被兩金屬膜為電極的電容之間的距離變化而測量出來。微機械片能使相對大的電容和電容變化容易的被檢測出來。

　　 雙電容結(jié)構(gòu)和它的對稱性同時改進了零點的穩(wěn)定性。發(fā)生在它們之中一個電容中的任何變化會引起對面電容中的相似變化而得到補償。另外對稱性能導(dǎo)致交叉軸誤差較大。加速傳感器的裝配中對稱性是由角度的準確度而確定的。不同的量程是由調(diào)節(jié)弦片的厚度來實現(xiàn)的。傳感器元件的濕度由密封洞穴中的壓力所決定的，此密封洞穴是由中間硅片，弦片和外層硅片構(gòu)成。可以通過調(diào)整傳感器元件來滿足不同用途的需要，密封性是通過陽極與硅片牢固粘合而達到的。這樣也省去了額外包裝的需要，提高了產(chǎn)品質(zhì)量的可靠性。

　　轉(zhuǎn)載請注明來源：賽斯維傳感器網(wǎng)（m.fineinshow.com）