電容式傳感器指將被測量變化轉(zhuǎn)換成電容量變化的傳感器。電容式傳感器可分為三種基本類型：變極距(變間隙)型、變面積型型和變介電常數(shù)型。

　　1.變極匝型電容式傳感器

　　變極距型電容式傳感器用一個固定極扳和一個可動極板構(gòu)成：可動極板由被測金屬平面充當。當電容式傳感器極板間距因被測量變化而變化時.電容變化量為極距是時的初始電容量。

　　極板間距的變化不是線性關(guān)系說明該類型電容式傳感器存在著原理性非線性誤差.即量程遠小于兩極板問的初始距離)時，可以認為么是線性關(guān)系，因此，這種類型的傳感器一般用來測量微小的位移變化量。

　　2.變面積(s)型電容式傳感器

　　變四積型電容式傳感器中.平板形結(jié)構(gòu)對圾距變化特別敏感，測量精度受到影響，而圓柱形結(jié)構(gòu)受權(quán)板徑向變化的影響很小v成為實際應(yīng)用中最常來只結(jié)構(gòu).其干線位移單組式的電容量在忽略邊緣效應(yīng)時為電容傳感器的電容變化與線位移成正比。

　　3.變介電常數(shù)(e)型電容式傳感器

　　變介電常數(shù)(c)型電容式傳感器大多用來測量電介質(zhì)的厚度、液位、還可根據(jù)極間介質(zhì)的介電常數(shù)隨溫度、濕度改變而改變來測量介質(zhì)材料的溫度、濕度等。若忽略邊緣故應(yīng)，表5—l中單組式平板形線位移傳感器的電容量與介質(zhì)線位移的關(guān)系為固定極板的長度和寬度及被測物進入兩極板間的長度。

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