0  引  言

　　生物傳感器的研究具有巨大的應(yīng)用前景，近年來(lái)，隨著電子自旋現(xiàn)象的發(fā)現(xiàn)，結(jié)合了半導(dǎo)體微電子工藝制備的GMR設(shè)備，在生物檢測(cè)領(lǐng)域引起了人們?cè)絹?lái)越濃厚的研究興趣，使其成為傳統(tǒng)生物檢測(cè)方法的替換方案之一。由于其獨(dú)特的物理特性，GMR傳感器比電子傳感器更靈敏、可重復(fù)性強(qiáng)，具有更寬的工作溫度、工作電壓和抗機(jī)械沖擊、震動(dòng)的優(yōu)異性能，而且GMR傳感器的工作點(diǎn)也不會(huì)隨時(shí)間推移而發(fā)生偏移。GMR傳感器的制備成本和檢測(cè)成本低，對(duì)樣本的需求量很小。由GMR傳感器組成的陣列，還可以結(jié)合現(xiàn)有的IC工藝，提高整體設(shè)備的集成度，進(jìn)行多目標(biāo)的檢測(cè)。同時(shí)，對(duì)比傳統(tǒng)的熒光檢測(cè)法，磁性標(biāo)記沒(méi)有很強(qiáng)的環(huán)境噪聲，標(biāo)記本身不會(huì)逐漸消退，也不需要昂貴的光學(xué)掃描設(shè)備以及專業(yè)的操作人員。因此，無(wú)論是傳感器本身的性能，還是磁性標(biāo)記的特點(diǎn)，都決定了GMR傳感器陣列在生物檢測(cè)領(lǐng)域的研究具有較高的應(yīng)用價(jià)值和實(shí)踐意義。

　　1  巨磁阻陣列傳感器生物檢測(cè)的基本原理

　　1.1  巨磁阻(GMR)效應(yīng)

　　1988年派瑞松大學(xué)的研究人員發(fā)現(xiàn)了GMR效應(yīng)，這是一種在鐵磁性層與非鐵磁性層交替疊置的結(jié)構(gòu)中觀測(cè)到的量子效應(yīng)，是指某些磁性或合金材料的磁電阻在一定磁場(chǎng)作用下急劇減小，而△ρ／ρ急劇增大的特性，一般增大的幅度比通常的磁性與合金材料的磁電阻約高10倍。GMR效應(yīng)的理論很復(fù)雜，許多機(jī)理至今還不清楚，目前普遍接受的解釋是兩流模型，如圖1所示。多個(gè)鐵磁層中的磁矩方向由施加的外磁場(chǎng)控制，當(dāng)鐵磁性層的磁矩反平行排列時(shí)見(jiàn)圖1(a)，載流子受到的自旋散射最大，多層膜電阻最高；當(dāng)鐵磁性層的磁矩平行排列時(shí)見(jiàn)圖1(b)，載流子受到的自旋散射最小，多層膜的電阻最低。

　　目前，按其結(jié)構(gòu)、GMR材料可分為具有層間偶合特性的多層膜(例如Fe／Cr)、自旋閥多層膜(例如FeMn／FeNi／Cu／FeNi)、顆粒型多層膜(例如Fe-Co)和鈣鈦礦氧化物型多層膜(例如AMnO3)等。

　　1.2  巨磁阻(GMR)的電子特性

　　圖2是一個(gè)典型的多層GMR材料在外加磁場(chǎng)下的電阻變化情況。圖2中的輸出表明，無(wú)論是正向還是反向的外加磁場(chǎng)變化，都能帶來(lái)相同的磁阻變化，也就是說(shuō)GMR效應(yīng)是全極性的。曲線的斜率體現(xiàn)了磁性敏感程度，通常以V(mV)／Oe為單位。當(dāng)阻值不隨磁場(chǎng)繼續(xù)變化時(shí)，磁性材料就達(dá)到了其磁性飽和區(qū)。兩條曲線中的偏移是磁性材料的磁滯導(dǎo)致的，從零磁場(chǎng)到飽和磁場(chǎng)所帶來(lái)的阻值變化就稱為磁阻。

　　1.3 GMR陣列傳感器生物檢測(cè)的基本模式

　　用GMR陣列傳感器進(jìn)行生物檢測(cè)，是以磁性顆粒為標(biāo)記物，采用直接標(biāo)記法或兩步標(biāo)記法，在施加一定方向的外加磁場(chǎng)的情況下，用磁敏傳感器對(duì)磁性標(biāo)記產(chǎn)生的寄生磁場(chǎng)進(jìn)行檢測(cè)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)生物目標(biāo)定性定量分析。圖3分別介紹了磁性標(biāo)記法檢測(cè)的具體步驟：

　　直接標(biāo)記法  如圖3(a)所示，直接標(biāo)記法是將標(biāo)記物直接結(jié)合到探針上。首先在傳感器表面結(jié)合特定的生物探針，再將已預(yù)先綁定磁性顆粒的樣本溶液加入傳感器的反應(yīng)池中，溶液中特定的目標(biāo)分子被探針捕獲，完成標(biāo)記。

　　兩步標(biāo)記法  如圖3(b)所示，以DNA檢測(cè)為例，第一步將已知序列的DNA探針鏈結(jié)合在包埋了自旋閥傳感器的芯片表面，加入用生物素標(biāo)記的DNA目標(biāo)鏈溶液，進(jìn)行充分雜交；第二步，加入被抗生物素包裹的磁性顆粒，形成生物素一抗生物素共價(jià)鍵，從而選擇性地捕獲磁性標(biāo)記。

　　標(biāo)記反應(yīng)完成后，用外加梯度磁場(chǎng)將未參與標(biāo)記的多余磁性顆粒分離，再施加激勵(lì)磁場(chǎng)將磁標(biāo)記(磁性顆粒)磁化，磁化的磁標(biāo)記產(chǎn)生的寄生磁場(chǎng)引起傳感器阻值的變化，從而導(dǎo)致反映生物反應(yīng)的信號(hào)輸出。

　　2 GMR生物檢測(cè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)

　　當(dāng)前，國(guó)際國(guó)內(nèi)已經(jīng)開(kāi)展了基于不同技術(shù)的生物磁場(chǎng)檢測(cè)設(shè)備研究，涉及自旋閥傳感器(Spin Valves)、感應(yīng)傳感器(Inductive Sensors)、超導(dǎo)量子干涉儀(SQUIDs)、各向異性磁阻(AMR)環(huán)式傳感器、小規(guī)模的霍耳組合傳感器(Hall Crosses)以及隧道結(jié)(TMR)傳感器等。

　　1998年，作為美國(guó)國(guó)防部高級(jí)研究規(guī)劃局(DAR-PA)支持項(xiàng)目，美國(guó)海軍研究實(shí)驗(yàn)室與NVE公司合作，由David R.Baselt等開(kāi)展了基于巨磁阻技術(shù)的生物傳感器研究，并設(shè)計(jì)制備了兩代GMR傳感器的磁珠陣列計(jì)數(shù)器(BARCⅡ，BARCⅢ)進(jìn)行生物雜交分析，并用于測(cè)量在單個(gè)分子水平上的DNA-DNA，以及抗體抗原對(duì)和受體-配體對(duì)的結(jié)合力。德國(guó)比勒菲爾德(Bielefeld)大學(xué)、美國(guó)佛羅里達(dá)州立大學(xué)、美國(guó)斯坦福大學(xué)、葡萄牙國(guó)立計(jì)算機(jī)系統(tǒng)與工程研究所(INESC-MN)等研究機(jī)構(gòu)也相繼開(kāi)展了磁性傳感器陣列的生物檢測(cè)研究。國(guó)內(nèi)多所高校和研究所，如中科院物理研究所、清華大學(xué)、同濟(jì)大學(xué)、電子科技大學(xué)、中山大學(xué)等，自2005年起，對(duì)巨磁阻生物傳感器陣列設(shè)計(jì)、傳感器材料的選取、磁性標(biāo)記與傳感器尺寸關(guān)系、輸出信號(hào)處理等方面進(jìn)行了廣泛的研究，實(shí)現(xiàn)了單個(gè)納米尺度顆粒的檢測(cè)，并申請(qǐng)了相關(guān)的專利。

　　上述研究中采用的陣列方案和傳感器形態(tài)各異，從布局上可以類分為規(guī)則排列陣列或分區(qū)排列陣列；矩形傳感器或蛇形傳感器。

　　圖4(a)是Glaanxiong Li等在約7 mm×8 mm的芯片表面上制備的自旋閥傳感器陣列，陣列包含60個(gè)亞微米級(jí)的條形自旋閥傳感器，呈2個(gè)縱列排列，每列30個(gè)傳感器單元，每個(gè)單元兩頭通過(guò)ion束沉積厚約300 nm的鋁作為引線，而中間未被覆蓋的條形區(qū)域作為生物反應(yīng)區(qū)，用于感應(yīng)與其易軸同向的磁場(chǎng)分量。

　　圖4(b)是David R.Baselt等設(shè)計(jì)制備的含66個(gè)GMR單元的傳感器陣列(BARCⅢ)，分為8個(gè)反應(yīng)區(qū)，每區(qū)8個(gè)單元，可進(jìn)行多路檢測(cè)。其單元呈圓形，直徑為200 μm，由長(zhǎng)8 mm寬1.6μm的電阻蛇形蜿蜒而成。

　　通常，整個(gè)GMR生物檢測(cè)系統(tǒng)由微流部分、GMR陣列、驅(qū)動(dòng)部分、分析處理部分組成。為了減少外界環(huán)境對(duì)傳感器輸出穩(wěn)定性的影響，傳感器單元往往與參考單元一起組成惠斯通電橋。如圖5所示，GMR電阻對(duì)組成惠斯通半橋，其中一個(gè)電阻表面覆蓋軟磁性屏蔽層，不受外加磁場(chǎng)的影響；另一個(gè)電阻作為應(yīng)變電阻，在GMR效應(yīng)作用下，阻值隨外加磁場(chǎng)變化，導(dǎo)致電橋輸出微伏級(jí)的差分電壓值，輸出的電壓經(jīng)過(guò)過(guò)濾、放大等處理后，再輸送到后端的采集檢測(cè)設(shè)備，做進(jìn)一步分析。

　　3  系統(tǒng)性能分析與討論

　　Darid R.Baselt等1998年研制的GMR生物傳感器，由于信噪比的限制，只能實(shí)現(xiàn)在每80 μm×5 μm的區(qū)域上探測(cè)到一個(gè)磁珠(直徑為2.8 μm)；2002年，Schotter等人實(shí)現(xiàn)了對(duì)低磁珠密度(16 pg／μl)被測(cè)樣品的探測(cè)；2005年，INESC公司采用U型自旋閥結(jié)構(gòu)制作GMR生物傳感器，其工作頻率從傳統(tǒng)的200 Hz降低到了30 Hz，使得熱噪聲更低( )；2005年，加利福尼亞大學(xué)物理系D．K．Wood等人研制的亞微型新一代GMR生物傳感器，可實(shí)現(xiàn)對(duì)小尺寸磁珠(直徑200 nm)的探測(cè)，且靈敏度更高( )。雖然磁性生物檢測(cè)系統(tǒng)取得一定的成績(jī)，但距離實(shí)用化仍有很大的距離。

　　綜合現(xiàn)有技術(shù)，提高磁性生物檢測(cè)系統(tǒng)的性能，可以在傳感器特性、磁性顆粒的選擇以及外圍電路的設(shè)計(jì)等方面進(jìn)行改進(jìn)。

　　3.1傳感器靈敏度

　　GMR傳感器靈敏度是指其對(duì)微弱信號(hào)的感應(yīng)能力。由于磁性標(biāo)記體積非常小，所以產(chǎn)生的寄生磁場(chǎng)也非常微弱，因此必須選用靈敏度高的磁性材料制備傳感器。衡量GMR性能的兩個(gè)最基本參數(shù)是：

　　(1)在一定溫度下所能達(dá)到的最大GMR值；

　　(2)獲得最大GMR效應(yīng)所需施加的飽和外磁場(chǎng)強(qiáng)度。

　　在各種巨磁電阻材料中，多層膜和顆粒膜飽和磁場(chǎng)高達(dá)數(shù)特斯拉，其磁場(chǎng)靈敏度低；氧化物陶瓷類材料飽和場(chǎng)極高，難以實(shí)現(xiàn)實(shí)用化；自旋閥材料飽和磁場(chǎng)較低，僅為幾個(gè)或幾十奧斯特，但室溫下GMR不高。因此，尋求GMR值高，飽和磁場(chǎng)低，磁場(chǎng)靈敏度高的合金體系或人工薄膜結(jié)構(gòu)是GMR傳感器生物檢測(cè)實(shí)用化的難點(diǎn)和重點(diǎn)。

　　目前，從制作的難易程度、性能的穩(wěn)定性等方面來(lái)考慮，傳感器陣列多采用GMR多層膜耦合結(jié)構(gòu)和自旋閥結(jié)構(gòu)，隨著研究工作的逐步深入，將來(lái)具有更高磁阻率的結(jié)構(gòu)，如隧穿磁阻(TMR)、稀土氧化物、微晶或非晶軟磁合金薄膜，以及利用巨磁阻抗效應(yīng)(GMI)的高靈敏傳感器，將在磁性生物陣列檢測(cè)中得以應(yīng)用。

　　3.2磁性微粒的尺寸與磁性含量

　　在整個(gè)系統(tǒng)中，生物特異性反應(yīng)通過(guò)磁性微粒的存在與數(shù)量來(lái)體現(xiàn)。目前采用的磁性顆粒(如γ-Fe2O3，F(xiàn)e3Ot，NiFe等)可分為微米級(jí)和亞微米級(jí)兩類，較大的磁性顆粒(約1～3μm)在形狀上比較容易實(shí)現(xiàn)統(tǒng)一，雖然磁性物質(zhì)含量較低(約15％)，但相對(duì)較大的體積，磁性微粒在傳感器表面產(chǎn)生的磁場(chǎng)分量仍然較大，另外，大體積也便于顯微計(jì)數(shù)。其缺點(diǎn)是無(wú)法高密度地綁定在傳感器表面，因此檢測(cè)到的生物分子較少。納米尺度的磁性顆粒具有很高的磁性含量(70％～80％)，但是由于制備工藝的限制，同一批次，其大小和形狀都有較大差異，對(duì)定量分析非常不利。而且，體積小的納米磁性顆粒容易快速簇集，導(dǎo)致輸出的信號(hào)失真。但是，采用敏感度更高的傳感器和更先進(jìn)的檢測(cè)分析系統(tǒng)，可以部分滿足小體積磁性顆粒的應(yīng)用要求，2005年，美國(guó)斯坦福大學(xué)Guanxiong Li等實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了當(dāng)自旋閥傳感器陣列尺寸與磁性顆粒尺寸(直徑為16 nm的超順磁Fe3O4顆粒)相近時(shí)，傳感器輸出信號(hào)與綁定的顆粒數(shù)量呈比較理想的正比關(guān)系，從而體現(xiàn)了采用小體積納米磁性標(biāo)記，自旋閥傳感器陣列在生物檢測(cè)中的定量分析能力。

　　3.3傳感器陣列的物理參數(shù)

　　GMR傳感器合適的層厚可以保證兩個(gè)磁性層反平行耦合，從而保證在沒(méi)有外加磁場(chǎng)的情況下，設(shè)備處于高電阻值狀態(tài)。另外，因?yàn)镚MR傳感器的電阻值主要取決于電子自旋散射，所以其層厚必須比大部分材料中電子的平均自由程(約幾個(gè)納米)小，典型的GMR磁性傳感器的層厚大約是2～6 nm。

　　同時(shí)，采用與生物分子尺度相同的傳感器(蛋白質(zhì)、DNA、RNA和*等都在1～100 nm的尺度范圍)，能夠有效增加檢測(cè)的靈敏度。目前，受制于制備的復(fù)雜性，減小傳感器的尺寸仍然十分困難，國(guó)內(nèi)研究機(jī)構(gòu)應(yīng)用傳統(tǒng)的光學(xué)光刻技術(shù)，受光波波長(zhǎng)和數(shù)值孔徑等因素的限制，難以制作線寬小于100 nm的圖案。然而更先進(jìn)的極端遠(yuǎn)紫外光刻、電子束直寫、離子投影光刻技術(shù)、X光光刻、電子束投影等技術(shù)雖然能克服上述限制，但系統(tǒng)復(fù)雜，造價(jià)十分昂貴。因而，基于傳統(tǒng)光刻技術(shù)上改進(jìn)的浸沒(méi)式光刻系統(tǒng)、微接觸印刷、納米壓印光刻等新的制備技術(shù)，將是基材表面批量獲取納米量級(jí)GMR傳感器陣列中最具潛力的技術(shù)。

　　除傳感器本身的物理參數(shù)外，GMR傳感器對(duì)磁場(chǎng)的距離也非常敏感，磁性顆粒的寄生磁場(chǎng)隨其與傳感器敏感層的距離呈3階衰減，所以，應(yīng)盡量減小傳感器與磁性標(biāo)記之間的距離，以減少對(duì)傳感器靈敏度的過(guò)高要求。但是，在實(shí)際檢測(cè)中，為了防止傳感器表面被生物溶液侵蝕和牢固結(jié)合生物探針，又必須在傳感器表面覆蓋保護(hù)層(7 nm PEI／PMMA；1 μm氮化硅)和生物結(jié)合層(金屬材料、玻璃、石英或表面為氧化硅的硅片)。因此，超薄惰性材料和生物結(jié)合材料的發(fā)現(xiàn)與工藝的提高也是提高磁性生物檢測(cè)系統(tǒng)性能必不可少的條件。

　　3.4外加磁場(chǎng)

　　檢測(cè)中需要外加激勵(lì)磁場(chǎng)磁化超順磁顆粒，針對(duì)不同的磁性傳感器，磁性激勵(lì)場(chǎng)可以平行于傳感器表面，也可以垂直于傳感器表面。平行方式相對(duì)優(yōu)于垂直方式，當(dāng)傳感器上方不存在磁性微粒時(shí)，平行方式不會(huì)產(chǎn)生信號(hào)輸出，而且激勵(lì)場(chǎng)即使有一定的角度偏轉(zhuǎn)，也不會(huì)導(dǎo)致片上分量的產(chǎn)生。另外，激勵(lì)場(chǎng)可以采用直流激勵(lì)場(chǎng)或交流激勵(lì)場(chǎng)，在交流激勵(lì)場(chǎng)作用下，傳感器輸出交流信號(hào)，通過(guò)鎖相放大技術(shù)，可以獲得較高的信噪比，方便信號(hào)的提取。但是，相比DC激勵(lì)場(chǎng)而言，AC激勵(lì)場(chǎng)會(huì)導(dǎo)致電磁干擾，需要在后端設(shè)計(jì)交流EMI濾波及整流濾波電路，增加了電路復(fù)雜性。另外，外加交流激勵(lì)磁場(chǎng)頻率需要均衡考慮，如果過(guò)高，系統(tǒng)中的感性阻抗元件(如電磁鐵等)會(huì)使電橋輸出的信號(hào)大幅減弱；如果激勵(lì)磁場(chǎng)頻率太低，又會(huì)增加1／f噪聲。對(duì)于某些GMR傳感器，還需要外加偏置磁場(chǎng)，用于固定自由層、控制傳感器工作在線性區(qū)間以及防止磁性微粒的初始極化。然而亞微米級(jí)的傳感器，由于其自由層已處于單磁疇狀態(tài)，可以不施加偏置場(chǎng)，從而提高自由層磁化時(shí)的自由度，增加傳感器在易軸的敏感性。

　　3.5采用信號(hào)放大技術(shù)

　　由于GMR傳感器陣列輸出的信號(hào)非常微弱，并且信號(hào)中不可避免地存在1／f噪聲和散粒噪聲，為了精確測(cè)量掩埋在噪聲中生物信號(hào)的幅值及相位，通常用前置低噪聲放大器、帶通濾波器、可控增益放大器、相敏檢測(cè)電路、正交移相電路、差分直流放大電路等組成的鎖相放大設(shè)備來(lái)抑制差模噪聲和共模噪聲，對(duì)傳感器輸出的信號(hào)進(jìn)行預(yù)處理。

　　4結(jié)語(yǔ)

　　利用GMR傳感器組成陣列，對(duì)磁性標(biāo)記的生物分子的檢測(cè)進(jìn)行研究工作已經(jīng)開(kāi)展了近十年，這里就檢測(cè)方法的基本原理、發(fā)展情況、影響檢測(cè)效果的各項(xiàng)因素進(jìn)行介紹和分析。目前制約GMR傳感器陣列生物檢測(cè)性能的關(guān)鍵是制備工藝和材料的問(wèn)題，在進(jìn)一步的研究中，需要采用生物分子尺度相同、高靈敏的新型GMR傳感器，研究新的生物機(jī)能性保護(hù)膜，在避免互擾的基礎(chǔ)上，在芯片上布局更密集、有效生物結(jié)合面更大的陣列，改善傳感器的線性度，保證亞微米級(jí)的超順磁顆粒形態(tài)的均一，才能有效促進(jìn)GMR優(yōu)越感器陣列在生物檢測(cè)上的應(yīng)用。

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