現(xiàn)如今，隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步與發(fā)展，MEMS在投影儀方向的應(yīng)用也趨于成熟。

投影儀所采用的MEMS微鏡如圖1,圖2所示。其中掃描電鏡圖則是來自于TI的Electrostatically-driven digital mirrors for projection systems。

每個(gè)微鏡都由若干錨anchor或鉸鏈hinge支撐，通過改變外部激勵(lì)從而控制同一個(gè)微鏡的不同錨/鉸鏈的尺寸從而微鏡傾斜特定角度，將入射光線向特定角度反射。

大量微鏡可以形成一個(gè)陣列從而進(jìn)行大面積的反射。錨/鉸鏈的尺寸控制可以通過許多方式實(shí)現(xiàn)，一種簡單的方式便是通過加熱使其熱膨脹，當(dāng)不同想同一個(gè)微鏡的不同錨/鉸鏈通入不同電流時(shí)，可以使它們產(chǎn)生不同形變，從而向指定角度傾斜。TI采用的是靜電驅(qū)動(dòng)方式，即通入電來產(chǎn)生靜電力來傾斜微鏡。

圖1 微鏡的SEM示意圖

圖2 微鏡結(jié)構(gòu)示意圖

德州儀器的數(shù)字微鏡器件(DMD)，廣泛應(yīng)用于商用或教學(xué)用投影機(jī)單元以及數(shù)字影院中。每16平方微米微鏡使用其與其下的CMOS存儲(chǔ)單元之間的電勢(shì)進(jìn)行靜電致動(dòng)�；叶葓D像是由脈沖寬度調(diào)制的反射鏡的開啟和關(guān)閉狀態(tài)之間產(chǎn)生的。

顏色通過使用三芯片方案(每一基色對(duì)應(yīng)一個(gè)芯片)，或通過一個(gè)單芯片以及一個(gè)色環(huán)或RGB LED光源來加入。采用后者技術(shù)的設(shè)計(jì)通過色環(huán)的旋轉(zhuǎn)與DLP芯片同步，以連續(xù)快速的方式顯示每種顏色，讓觀眾看到一個(gè)完整光譜的圖像。

TI有一個(gè)非常非常具體生動(dòng)的視頻介紹該產(chǎn)品，你可以在這個(gè)視頻中看到整個(gè)微鏡陣列如何對(duì)光進(jìn)行不同角度的折射。

圖3 微鏡反射光線示意圖

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